光學(xué)分辨率測(cè)量全解析:分辨率板
來(lái)源:深圳市凱茉銳電子科技有限公司2025-05-08
分辨率是衡量光學(xué)系統(tǒng)成像質(zhì)量的核心指標(biāo),直接決定了設(shè)備捕捉細(xì)節(jié)的能力。分辨率作為評(píng)價(jià)像質(zhì)量指標(biāo)比較直觀,且易于定量測(cè)量,檢測(cè)裝置簡(jiǎn)單,仍是檢測(cè)一般成像光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)量的主要方法之一。
分辨率測(cè)試原理
分辨率的理論基礎(chǔ)源于光的衍射效應(yīng)。一個(gè)發(fā)光物點(diǎn)經(jīng)過(guò)衍射受限系統(tǒng)成的像就是一個(gè)艾里斑,兩個(gè)靠的很近的點(diǎn),成的像就是兩個(gè)艾里斑,二者重疊部分認(rèn)為是兩個(gè)艾里斑重疊部分的光強(qiáng)之和(非相干)。區(qū)分是一個(gè)光斑還是兩個(gè)光斑重疊的條件就是重疊部分光強(qiáng)的對(duì)比度。這個(gè)對(duì)比度定義不一樣就形成了不同的判據(jù)。
根據(jù)瑞利判據(jù),當(dāng)兩個(gè)相鄰點(diǎn)光源的衍射斑中心間距等于艾里斑的第一暗環(huán)半徑時(shí),人眼可分辨兩者。此時(shí)的最小分辨角公式為:
其中,λ為光波長(zhǎng)(白光取0.55μm),D為光學(xué)系統(tǒng)入瞳直徑 。
對(duì)于望遠(yuǎn)物鏡,分辨率通常以角分辨率(單位為角秒)表示;照相物鏡則以像面線對(duì)數(shù)(lp/mm)衡量;顯微物鏡則直接以最小可分辨物點(diǎn)間距(μm)評(píng)價(jià) 。
分辨率測(cè)試工具
分辨率板是一種標(biāo)準(zhǔn)化的測(cè)試工具,通過(guò)黑白相間的線條圖案模擬被測(cè)系統(tǒng)需分辨的最小細(xì)節(jié)。根據(jù)光學(xué)系統(tǒng)的類型和用途,分辨率板的設(shè)計(jì)形式多樣,常見(jiàn)的有三種:
柵格狀分辨率板(如WT1005-62型):線條寬度按等比級(jí)數(shù)遞減,每組包含四個(gè)方向的線條,便于多角度檢測(cè) 。我國(guó)目前應(yīng)用最廣的就是這種分辨率圖案。整套圖案由粗到細(xì),按公比2的(-1/12)次方的幾何級(jí)數(shù)遞減,并且按照順序分布在A1~A7的七塊分辨率板上。每塊分辨率板由線寬遞減的25個(gè)單元組成,每個(gè)單元由4個(gè)不同方向(水平,豎直,斜 45° 以及斜 135°)的線條組成。線條寬度最細(xì),適合逐步測(cè)試極限分辨率 。
輻射式分辨率板:由72個(gè)扇形黑白條組成,空間頻率連續(xù)變化,適合觀察偽分辨現(xiàn)象 。
SH-01型分辨率板:含20組線條,每組由三個(gè)垂直方向的平行線構(gòu)成,適用于中等焦距的照相物鏡 。
測(cè)試光路
1、測(cè)試裝置組成
核心設(shè)備:平行光管(提供無(wú)窮遠(yuǎn)目標(biāo))、分辨率板、待測(cè)光學(xué)系統(tǒng)(如望遠(yuǎn)物鏡)、前置鏡或測(cè)量顯微鏡(用于觀察像面) 。
輔助設(shè)備:光源、聚光鏡、毛玻璃(均勻照明)、轉(zhuǎn)臺(tái)(用于軸外點(diǎn)測(cè)試) 。
其中,1為測(cè)量顯微鏡;2為待測(cè)光學(xué)系統(tǒng);3為平行光管;4分辨率板。
2、光路設(shè)計(jì)
以望遠(yuǎn)物鏡為例,測(cè)試光路如上圖所示:
光源通過(guò)聚光鏡照亮分辨率板,平行光管將分辨率板成像于無(wú)窮遠(yuǎn),望遠(yuǎn)物鏡接收平行光并成像于焦平面,前置鏡或顯微鏡觀察焦平面上的分辨率圖案,判斷最小可分辨單元 。
詳細(xì)測(cè)試工藝方案
步驟1:裝置校準(zhǔn)。將分辨率板置于平行光管焦平面,調(diào)整光源使照明均勻 。確保平行光管、待測(cè)物鏡、前置鏡共軸,消除裝調(diào)誤差 。步驟2:觀察與記錄。初始觀察:通過(guò)前置鏡直接觀察分辨率板像,調(diào)整望遠(yuǎn)物鏡焦距使像清晰居中 。逐步測(cè)試:從線條最粗的單元(如A1-1)向最細(xì)單元(如A7-25)觀察,記錄四個(gè)方向線條均能分辨的最高單元號(hào) 。軸外點(diǎn)測(cè)試:旋轉(zhuǎn)望遠(yuǎn)物鏡夾持器,調(diào)整觀察顯微鏡位置以補(bǔ)償像面傾斜,重復(fù)上述步驟 。步驟3:數(shù)據(jù)查詢與計(jì)算。查表獲取線寬:根據(jù)分辨率板號(hào)(如A3)和單元號(hào)(如13),查表得到對(duì)應(yīng)線寬b(例如b=20μm) 。
計(jì)算角分辨率:
其中,fc為平行光管焦距(例如fc=1200mm),則:
理論值對(duì)比:根據(jù)望遠(yuǎn)物鏡入瞳直徑D,計(jì)算理論分辨率(α理論=140/D),評(píng)估實(shí)測(cè)值是否達(dá)標(biāo)。
誤差來(lái)源
像差影響:球差、彗差會(huì)降低分辨率,表現(xiàn)為線條邊緣模糊或拖尾 。
環(huán)境因素:溫度波動(dòng)引起透鏡形變,振動(dòng)導(dǎo)致像面抖動(dòng),需在恒溫實(shí)驗(yàn)室測(cè)試 。
人眼主觀性:不同觀察者判定“剛能分辨”存在差異,建議采用機(jī)器視覺(jué)+圖像處理軟件(如MTF分析)提高客觀性 。
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